ວິທີການເລືອກຖົງມືໃຊ້ແລ້ວຖິ້ມທີ່ເໝາະສົມສຳລັບຂະບວນການພິມແຜ່ນເວເຟີ?

ໃນການຜະລິດແຜ່ນເວເຟີເຄິ່ງຕົວນຳ, ຂະບວນການພິມດ້ວຍໄຟຟ້າແມ່ນຂັ້ນຕອນທີ່ສຳຄັນ ແລະ ຂັບເຄື່ອນດ້ວຍຄວາມແມ່ນຍຳສູງ ເຊິ່ງກຳນົດຜົນຜະລິດຂອງຊິບ. ໃນຖານະເປັນ "ຫຼັກຂອງການສຳຜັດ ແລະ ການຖ່າຍພາບ" ໃນຂະບວນການຜະລິດແຜ່ນເວເຟີ, ການພິມດ້ວຍໄຟຟ້າກວມເອົາຂະບວນການເຮັດວຽກທັງໝົດ - ລວມທັງການເຄືອບແບບໝຸນ, ການສຳຜັດ, ການພັດທະນາ, ການແກະສະຫຼັກ, ແລະ ການເຮັດຄວາມສະອາດແບບປຽກ - ແລະ ກຳນົດຂໍ້ກຳນົດທີ່ເຂັ້ມງວດທີ່ສຸດກ່ຽວກັບຄວາມສະອາດດ້ານສິ່ງແວດລ້ອມ, ການຄວບຄຸມສິ່ງປົນເປື້ອນ, ການປ້ອງກັນໄຟຟ້າສະຖິດ, ແລະ ຄວາມຕ້ານທານສານເຄມີ. ອະນຸພາກຝຸ່ນລະດັບໄມຄຣອນ, ການເຄື່ອນຍ້າຍຂອງໄອອອນຮ່ອງຮອຍ, ແລະ ການປ່ອຍໄຟຟ້າສະຖິດຊົ່ວຄາວສາມາດເຮັດໃຫ້ເກີດຂໍ້ບົກຜ່ອງດ້ານໂຟໂຕຣີສ, ຮູບແບບບໍ່ສອດຄ່ອງ, ການຜຸພັງຂອງແຜ່ນເວເຟີ, ແລະ ວົງຈອນສັ້ນຂະໜາດນ້ອຍໃນວົງຈອນໂດຍກົງ, ເຊິ່ງນຳໄປສູ່ການທຳລາຍແຜ່ນເວເຟີທັງໝົດ ແລະ ເຮັດໃຫ້ເກີດການສູນເສຍການຜະລິດຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ. ໂຮງງານຜະລິດແຜ່ນເວເຟີຫຼາຍແຫ່ງມີຄວາມຫຍຸ້ງຍາກໃນການປັບປຸງຜົນຜະລິດຂອງຂະບວນການພິມດ້ວຍໄຟຟ້າຂອງພວກເຂົາ. ເຖິງແມ່ນວ່າອຸປະກອນ, ຂະບວນການ, ແລະ ພາລາມິເຕີດ້ານສິ່ງແວດລ້ອມທັງໝົດເປັນລະບຽບ, ແຕ່ບັນຫາມັກຈະຢູ່ໃນວັດສະດຸປ້ອງກັນມືທີ່ບໍ່ສຳຄັນ. ຖົງມືຫ້ອງສະອາດຊັ້ນ 1,000 ທຳມະດາ ຫຼື ຊັ້ນອຸດສາຫະກຳແມ່ນບໍ່ເໝາະສົມກັບມາດຕະຖານທີ່ສູງທີ່ສຸດຂອງຂະບວນການພິມດ້ວຍໄຟຟ້າ.

ເປັນຫຍັງການໃຊ້ຖົງມືຫ້ອງທຳມະດາຈຶ່ງຖືກຫ້າມຢ່າງເຂັ້ມງວດໃນຂະບວນການພິມດ້ວຍຫີນ?

ຜົງເສດເຫຼືອເຮັດໃຫ້ເກີດການປົນເປື້ອນຂອງແສງ

ໄອອອນຊູນຟູຣ໌ ແລະ ຄລໍໄຣດ໌ຫຼາຍເກີນໄປຈະກັດກ່ອນວົງຈອນໃນແຜ່ນເວເຟີ

ໄຟຟ້າສະຖິດໄດ້ອອກຈາກການຄວບຄຸມ, ເຮັດໃຫ້ເກີດການແຕກຫັກໃນແຜ່ນເວເຟີ photolithography ຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ

ການລອກອອກ ແລະ ການຫຼົ່ນລົງ, ເຊິ່ງນຳໄປສູ່ຂໍ້ບົກຜ່ອງຂອງສິ່ງແປກປອມໃນຂະບວນການຜະລິດ

ຖົງມືໄນໄຕຣ LjieClean Class 100 ທີ່ບໍ່ມີຜົງ

ບໍລິສັດ Suzhou Leader ກຳລັງສຸມໃສ່ຂະແໜງການຜະລິດເວເຟີເຄິ່ງຕົວນຳ ແລະ ແກ້ໄຂບັນຫາໃນຂະບວນການພິມດ້ວຍເຄື່ອງ, ພວກເຮົາໄດ້ພັດທະນາຖົງມືໄນໄຕຣ Class 100 ທີ່ບໍ່ມີຜົງ ແລະ ປ່ອຍອາຍພິດຕ່ຳ ເຊິ່ງຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການການຜະລິດຂອງຂະບວນການພິມດ້ວຍເຄື່ອງທັງໝົດໄດ້ຢ່າງສົມບູນ, ເຮັດໃຫ້ພວກມັນເປັນວັດສະດຸປ້ອງກັນທີ່ຕ້ອງການສຳລັບໂຮງງານຜະລິດ ແລະ ບໍລິສັດຫຸ້ມຫໍ່ ແລະ ທົດສອບເວເຟີຫຼາຍແຫ່ງ.

1. ຂະບວນການທີ່ບໍ່ມີຜົງທີ່ອີງໃສ່ໄດຄລໍໄຣດ໌: ບໍ່ມີການປົນເປື້ອນຂອງຜົງໃນຂະບວນການພິມດ້ວຍແສງ

ໂດຍການນໍາໃຊ້ຂະບວນການກັ່ນຕອງຄໍລໍຣີນສະເພາະຂອງເຄິ່ງຕົວນໍາ, ວິທີການນີ້ບໍ່ຈໍາເປັນຕ້ອງເພີ່ມສານເຕີມແຕ່ງເຊັ່ນ: ແປ້ງທາກ, ແປ້ງສາລີ, ຫຼື ນໍ້າມັນຊິລິໂຄນຕະຫຼອດຂະບວນການທັງໝົດ. ມັນຮັບປະກັນການນໍາໃຊ້ທີ່ລຽບງ່າຍຕະຫຼອດຂະບວນການ, ກໍາຈັດອະນຸພາກຜົງ ແລະ ສິ່ງເສດເຫຼືອນໍ້າມັນຊິລິໂຄນທີ່ປົນເປື້ອນໂຟໂຕຣີຊິດຢູ່ທີ່ຕົ້ນກໍາເນີດ, ດັ່ງນັ້ນຈຶ່ງແກ້ໄຂຂໍ້ບົກຜ່ອງຂອງອະນຸພາກຕ່າງປະເທດໃນຂະບວນການພິມດ້ວຍໂຟໂຕຣີໂຊກຣາຟີໄດ້ຢ່າງສົມບູນ.

2 ການລ້າງດ້ວຍນ້ຳບໍລິສຸດພິເສດຫຼາຍຂັ້ນຕອນຊ່ວຍໃຫ້ມີຊູນຟູຣິກຕ່ຳ, ຄລໍຣີນຕ່ຳ, ແລະ ປະລິມານໄອອອນຕ່ຳ

ຜ່ານການລ້າງຫຼາຍຮອບດ້ວຍນ້ຳທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ສານເຕີມແຕ່ງວັດຖຸດິບ ແລະ ສິ່ງເສດເຫຼືອເທິງໜ້າດິນຈະຖືກກຳຈັດອອກ. ປະລິມານຂອງຊູນຟູຣ໌, ຄລໍຣີນ, ແລະ ໄອອອນໂລຫະທີ່ລະລາຍໄດ້ຖືກຄວບຄຸມຢ່າງເຂັ້ມງວດ, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ NVR (ສິ່ງເສດເຫຼືອທີ່ບໍ່ລະເຫີຍ) ຕ່ຳ. ສິ່ງນີ້ປ້ອງກັນການຜຸພັງຂອງແຜ່ນເວເຟີ, ການກັດກ່ອນຂອງຊັ້ນເຄືອບ, ແລະ ຂໍ້ບົກຜ່ອງຂອງການແກະສະຫຼັກ, ເຮັດໃຫ້ຖົງມືເຂົ້າກັນໄດ້ຢ່າງເຕັມທີ່ກັບຂະບວນການພິມດ້ວຍໄຟຟ້າທີ່ຕ້ອງການສຳລັບແຜ່ນເວເຟີຂະໜາດ 8 ແລະ 12 ນິ້ວ.

3 ການປ້ອງກັນ ESD ທີ່ຖືກດັດແປງໃນແມ່ພິມເພື່ອປ້ອງກັນເວເຟີທີ່ລະອຽດອ່ອນຕໍ່ໄຟຟ້າສະຖິດ

ບໍ່ເຫມືອນກັບຖົງມືຕ້ານໄຟຟ້າສະຖິດທີ່ມີຢູ່ໃນທ້ອງຕະຫຼາດທີ່ມີການເຄືອບສີດຊົ່ວຄາວ, Gonars ໃຊ້ເທັກໂນໂລຢີການດັດແປງຕ້ານໄຟຟ້າສະຖິດໃນແມ່ພິມໃສ່ວັດສະດຸພື້ນຖານໄນໄຕຣ. ສິ່ງນີ້ຮັບປະກັນຄວາມຕ້ານທານຂອງພື້ນຜິວທີ່ໝັ້ນຄົງ ແລະ ເປັນເອກະພາບ, ກະຈາຍໄຟຟ້າສະຖິດຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງຕະຫຼອດຂະບວນການທັງໝົດເພື່ອປ້ອງກັນການສະສົມໄຟຟ້າສະຖິດທີ່ອາດຈະເຮັດໃຫ້ການແຕກຫັກຂອງໂຟໂຕຣີຊິດ ແລະ ຄວາມເສຍຫາຍຕໍ່ວົງຈອນເວເຟີທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ. ມັນເໝາະສົມສໍາລັບຂັ້ນຕອນການພິມດ້ວຍຫີນຫຼັກເຊັ່ນ: ການເປີດເຜີຍ ແລະ ການພັດທະນາ.

4 ຄວາມຍືດຫຍຸ່ນ ແລະ ເໝາະສົມກັບການປະຕິບັດງານທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງໃນລະດັບໄມຄຣອນ

ວັດສະດຸຖົງມືມີຄວາມຍືດຫຍຸ່ນ ແລະ ສອດຄ່ອງກັບຮູບຊົງຂອງມື. ດ້ວຍການອອກແບບທີ່ມີໂຄງສ້າງທີ່ບໍ່ລື່ນຢູ່ປາຍນິ້ວມື, ມັນມີນ້ຳໜັກເບົາ ແລະ ບໍ່ໃຫຍ່, ເຮັດໃຫ້ມັນເໝາະສຳລັບການປະຕິບັດງານທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍຳສູງ ເຊັ່ນ: ການຈັດການແຜ່ນເຈ້ຍພິມດ້ວຍແສງ, ການແກ້ໄຂຂໍ້ຜິດພາດຂອງອຸປະກອນ, ແລະ ການກວດກາຄວາມແມ່ນຍຳ. ມັນໃຫ້ການເຄື່ອນໄຫວທີ່ບໍ່ມີຂໍ້ຈຳກັດ ແລະ ປ້ອງກັນການເລື່ອນ, ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມເສຍຫາຍທີ່ເກີດຈາກການກະທົບກະເທືອນໂດຍບັງເອີນໃນລະຫວ່າງການປະຕິບັດງານດ້ວຍມືຢ່າງມີປະສິດທິພາບ. ນອກຈາກນັ້ນ, ມັນຍັງທົນທານຕໍ່ຕົວລະລາຍພິມດ້ວຍແສງ ແລະ ກົດ ແລະ ດ່າງອ່ອນໆ, ແລະ ຍັງຄົງທົນທານໂດຍບໍ່ມີການເຊື່ອມໂຊມ ຫຼື ຂາດເຖິງແມ່ນວ່າຈະໃຊ້ເປັນເວລາດົນ.

5

✅ ການຫຸ້ມຫໍ່ແບບສູນຍາກາດສອງຊັ້ນຊ່ວຍກຳຈັດສິ່ງປົນເປື້ອນທີ່ຊ້ອນກັນ

ຜະລິດຕະພັນສຳເລັດຮູບຈະຖືກຫຸ້ມຫໍ່ຕະຫຼອດຂະບວນການໃນຫ້ອງສະອາດ Class 100 ໂດຍໃຊ້ການຫຸ້ມຫໍ່ທີ່ຜະນຶກດ້ວຍສູນຍາກາດສອງຊັ້ນ, ເຊິ່ງແຍກຝຸ່ນ ແລະ ຄວາມຊຸ່ມຊື່ນອອກຈາກກັນໄດ້ຢ່າງສົມບູນໃນລະຫວ່າງການເກັບຮັກສາ ແລະ ການຂົນສົ່ງ. ບໍ່ມີການປົນເປື້ອນທີສອງເມື່ອເປີດການຫຸ້ມຫໍ່, ຊ່ວຍໃຫ້ສາມາດໃຊ້ໄດ້ທັນທີໃນຫ້ອງສະອາດພິມດ້ວຍລະບົບ Class 100.